PECVD ovn

1.Type: 1200 graders Skyder-type Dual Zone PECVD System
2. Fasenummer: Enkeltfaset
3. Termoelement Type: K type
4.Model:TOB-DSP-1200 grad -PECVD
5.MOQ:1 sæt

Send forespørgsel

Chat nu

Produkt introduktion

1200 graders skyder Type Dual Zone PECVD System

Specifikation

Model	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-I	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-II		TOB-DSP-1200 grad -PECVD-III	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-IV
Strøm	3KW	3KW		4KW	4KW
Størrelse på ovnrør (mm)	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm		Dia 100(OD) X1800mm	Dia 120(OD) X1800mm
Dimension	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Strømforsyningsspænding	220V
Fasenummer	Enkelt fase
Kontroltilstand	Yudian temperaturkontrol 30 sektioner kan kun bruge PID temperaturregulering. FP93 temperaturkontrol (fra Japan) (Erstat importerede instrumenter mod et ekstra gebyr) 1,40 sektionsprogram temperaturstyring kan opdeles i 4,2,1 gruppeprogram, hvis programmet er opdelt i fire grupper, hvert programsegment 10, 2,6 gruppe PID kontrol, lav, medium og høj temperatur kan hver med et sæt PID, således at hvert segment er i stand til at kontrollere temperaturen er meget nøjagtig.
Temperaturstyringstilstand	Intelligent PID
Udbrændingsbeskyttelse og display	Ja
Overtemperaturbeskyttelse	Ja
Overstrømsbeskyttelse	Ja
Kontrolnøjagtighed	+/- 1 grad
Udløser	Faseskift udløser
SCR	106 / 16E Tyskland Simon Kang
1,2 temperatur zone max temperatur	1200 grader
1,2 temperaturzonen Nominel temperatur	1150 grader
Opvarmningshastighed	Mindre end eller lig med 30 grader/min (tilgængelig efter forespørgsel modifikation)
Anbefalet opvarmningshastighed	Mindre end eller lig med 15 grader/min
Termoelement type	K type
Opvarmningslængden på 1,2 temperaturzoner	205 mm
Omgivende overfladetemperatur	Mindre end eller lig med 45 grader
Plasma RF Power	Effektudgangsområde		0-500W
	Maksimal reflekteret effekt		10W
	Signal frekvens		13,56MHZ ± 0,005 %
	Støj		<30 dB
	Luftkøling		kølemetode
	Indgangseffekt		208-240V 50 / 60 HZ
GX forsyningssystem hovedparametre	Standard sortiment		Proton flow controller 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (du kan vælge enhver skala)
	Nøjagtighed		± 1.5%
	Trykfald		<0.01MPa
	Gentagelighed		± 0.2% F.S
	Maks Driftstryk		3 MP
VS-0.1 udstødningssystem	Strømforsyning		220V / 380V 380W
	Pumpehastighed		2L / S
	Modstandsvakuummåler		ZDR-I
	Vakuummåleområde		0.1-10 5 Pa
	Vakuum pumpe		VRD-8
	Korrugeret rør		KF25X1000mm
	Vakuum system		10 -1Pa